公司介紹
山東飛源氣體有限公司位于省級化工園區山東省淄博市高青化工產業園,成立于2015年4月,2019年引入投資商——上市公司江蘇南大光電材料股份有限公司(股票代碼:30034.SZ)作為戰略投資人是本公司的控股股東及實際控制人,后更名為山東飛源氣體有限公司。
山東飛源氣體有限公司是一家集高純含氟氣體研究、開發、生產為一體的電子材料制造企業,專注并以高純NF3、SF6、C4F6等含氟特種電子氣體為主業,未來將致力于更多含氟電子特種氣體的研發、生產、銷售、服務。三氟化氮作為超大規模集成電路液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少基礎性支撐原材料在電子行業中應用廣泛;六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能,被廣泛應用于電力工業;同時,電子級高純六氟化硫還是一種理想的電子蝕刻劑,被廣泛應用于微電子技術領域。我公司可年產純度99.999%電子級六氟化硫1500噸,產能占國內總產能的16.7%。